Applikationer

Litografi

Högexakta linjärstyrningar för koordinatbord

För att erhålla strukturer på chipsen beläggs dessa med extremt ljuskänsligt fotolack. Fotolacken belyses genom en mask och löses upp där ljuset träffar.

Vid nästa generations halvledartillverkning strävar man efter strukturstorlekar på mindre än 60 nm för att erhålla större minnestätheter och kopplingshastigheter.

Linjärmotordrivna koordinatbord svarar för rörelsen av substrat och projektionsmask. Maskinens bas utgörs av en stabil, vibrationsdämpad granitkonstruktion och en högexakt styrning, t.ex. INA ruulagrad skenstyrning RUE. Denna mycket tysta styrning utmärker sig genom ett jämnt gång- och förskjutningsmotstånd, vilket ger reproducerbarhet och noggrannhet vid positionering.